真空等離子清洗機(jī)真空泵的功能及選擇介紹

文章出處：等離子清洗機(jī)廠家 | 深圳納恩科技有限公司| 發(fā)表時(shí)間：2022-05-09

真空泵用于在等離子清洗機(jī)的接收器中生成真空。真空泵需在規(guī)定時(shí)間內(nèi)將腔體真空度抽到適當(dāng)值，并在腔體進(jìn)氣時(shí)維持腔體真空度的動(dòng)態(tài)平衡。在等離子清洗技術(shù)中最常用的真空泵如下所述：

旋片式真空泵

旋片泵由一個(gè)外殼組成，外殼中的轉(zhuǎn)子偏心轉(zhuǎn)動(dòng)。外殼內(nèi)部具有彈簧加載型葉片，葉片頂住外殼內(nèi)壁，并沿內(nèi)壁滑動(dòng)。被圍在吸入側(cè)的氣體將被壓縮，直至其超過(guò)環(huán)境壓力，然后壓力側(cè)上的排氣閥打開(kāi)。旋片式真空泵在真空等離子清洗機(jī)上大多數(shù)用在小型腔體（80L以下）或者作為真空泵組的前級(jí)泵。

旋片式真空泵具有以下這些優(yōu)點(diǎn)：
第一，旋片式真空泵在抽除腔體內(nèi)的干燥氣體的同時(shí)，也能抽除一定量的可凝性氣體和氣水混合物；
第二，結(jié)構(gòu)相對(duì)簡(jiǎn)單，維護(hù)保養(yǎng)起來(lái)方便；
第三，體積小、重量較輕，便于安裝移動(dòng)；
第四，振動(dòng)微小，噪音低；
第五，價(jià)錢相對(duì)低一些等。

干式真空泵

無(wú)油干式機(jī)械真空泵（又簡(jiǎn)稱干式機(jī)械泵）是指泵能從大氣壓力下開(kāi)始抽氣，又能將被抽氣體直接排到大氣中去，泵腔內(nèi)無(wú)油或其他工作介質(zhì)，而且泵的極限壓力與油封式真空泵同等量級(jí)或者接近的機(jī)械真空泵。
為了使用腐蝕性氣體 (CF4/O2,SF6,…)進(jìn)行工作，泵經(jīng)常與腐蝕性氣體一起使用會(huì)限制其使用壽命。若經(jīng)常在生產(chǎn)期間使用，我們則建議購(gòu)買干運(yùn)行泵，干運(yùn)行泵適用于腐蝕性氣體，
干運(yùn)行泵的優(yōu)點(diǎn)在于優(yōu)化了生產(chǎn)燃料的消耗量。這些泵不需要進(jìn)行預(yù)防性維護(hù)。（換油）

羅茨真空泵

旋片泵所產(chǎn)生的壓力會(huì)受到限制。為了增強(qiáng)抽吸性能，建議將其與搖桿式活塞泵組合使用。它們將會(huì)組成一個(gè)所謂的泵站。典型組合如下所述：
1.第一個(gè)泵（例如：一個(gè)旋片泵）生成預(yù)真空。其被稱為“前級(jí)泵”。
2.作為第二個(gè)泵，使用的是一個(gè)搖桿式活塞真空泵。

真空泵的選擇

對(duì)于我們的標(biāo)準(zhǔn)等離子清洗機(jī)，可以考慮特殊旋片泵。泵越大，工藝時(shí)間就越短?？梢愿鶕?jù)腔室容積和所需的工藝時(shí)間自定義選擇泵。有些處理產(chǎn)品會(huì)釋放大量氣體（例如：POM部件、硅橡膠或潮濕部件）。在這種情況下，建議使用性能更強(qiáng)的泵。

抽真空速度是決定一臺(tái)真空等離子清洗機(jī)的工作效率的重要因素之一，抽真空速度的快慢主要是取決于真空泵。今天我們就來(lái)介紹一下等離子清洗機(jī)上所用到的幾類真空泵組以及在選擇真空泵組時(shí)的注意點(diǎn)。

真空泵組的選擇

真空泵組是將2臺(tái)或2臺(tái)以上的真空泵組合在一起，形成一個(gè)串聯(lián)的結(jié)構(gòu)，能夠大大加快抽真空的速度。在真空等離子清洗機(jī)上用到的真空泵組一般有三大類，一種是旋片式真空泵加上羅茨泵；另一種是干式真空泵+羅茨泵；最后一種是機(jī)械泵加上分子泵。

旋片式真空泵+羅茨泵
旋片式真空泵加上羅茨泵組成的泵組又可以稱為油式泵組，這種泵組是我們真空等離子清洗機(jī)中常見(jiàn)的一種泵組，它是由旋片式真空泵作為底泵，外加羅茨泵作為次級(jí)泵組合而成的泵組。這類泵組一般運(yùn)用于對(duì)潔凈度要求不是很高且腔體較大的真空等離子清洗機(jī)上。

旋片式真空泵加上羅茨泵作為真空等離子清洗機(jī)中常見(jiàn)的一種泵組，其優(yōu)點(diǎn)有很多：第1，能夠大幅度加大抽速，減少抽真空的時(shí)間；第2，結(jié)構(gòu)較為簡(jiǎn)單，維護(hù)方便；第3，性價(jià)比較高，具有價(jià)格優(yōu)勢(shì)。

干式螺桿真空泵+羅茨泵
干式螺桿真空泵加上羅茨泵組合成干式泵組，這種泵組是將干式螺桿真空泵作為底泵，羅茨泵作為次級(jí)泵組合成的泵組。因?yàn)槎际怯筛墒秸婵毡媒M合而成的，所以不會(huì)出現(xiàn)油污染，潔凈度相較于油式泵組更高一些。干式泵組一般運(yùn)用于生物醫(yī)療領(lǐng)域、半導(dǎo)體領(lǐng)域以及航天航空領(lǐng)域等潔凈度要求較高的行業(yè)。

干式泵組作為一款性能優(yōu)越的泵組，它的優(yōu)點(diǎn)還真不少：第1，潔凈度高，避免了油污染；第2，抽真空速度快，提高了工作效率；第3，工作時(shí)性能穩(wěn)定，聲音低；第4，對(duì)工作環(huán)境的要求低，能應(yīng)對(duì)各種惡劣的工作環(huán)境。

機(jī)械泵+分子泵
機(jī)械泵加上分子泵就組成了一款特殊的泵組-分子泵組。使用分子泵組能夠形成清潔的超高真空環(huán)境，所以分子泵組一般是運(yùn)用在鍍膜機(jī)、刻蝕機(jī)等對(duì)真空環(huán)境要求高的設(shè)備上。

分子泵組這么厲害，那它又有哪些優(yōu)點(diǎn)呢？第1，分子泵組啟動(dòng)快，而且抽速非?？?；第2，分子泵組是不使用油的，不會(huì)產(chǎn)生油污染；第3，維護(hù)簡(jiǎn)單。

等離子清洗機(jī)通過(guò)真空泵使等離子體腔體內(nèi)變成真空環(huán)境，等離子體通過(guò)轟擊表面污物,使其形成揮發(fā)性污物然后被真空泵排出,達(dá)到清洗的目的。等離子清洗時(shí)的壓力與工藝氣體的充入流量、真空室漏率和真空泵的有效抽速相關(guān)，等離子清洗機(jī)真空泵的選取對(duì)于等離子清洗效果有很大影響。