反應(yīng)性氣體等離子體處理和非反應(yīng)性氣體等離子體處理

低溫等離子體處理作用可以通過(guò)反應(yīng)性等離子體和非反應(yīng)性等離子體來(lái)實(shí)現(xiàn)。反應(yīng)性等離子體可以參與材料表面的化學(xué)反應(yīng)，含氧等離子體是這一類的代表，通過(guò)在材料表面引入含氧基團(tuán)來(lái)增加化學(xué)結(jié)合作用；而非反應(yīng)性等離子體一般不參與材料表面的化學(xué)反應(yīng)，以惰性等離子體為代表，只是將電離氣體產(chǎn)生的能量傳遞至材料表面，使材料表面的化學(xué)鍵發(fā)生斷裂，形成自由基。