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160L真空等離子清洗機(jī)NE-PE160F

  • 產(chǎn)品型號(hào):NE-PE150F
  • 性能特點(diǎn):有效處理空間大、清洗效率高
  • 產(chǎn)品用途:材料表面活化、清洗、刻蝕和改性
  • 產(chǎn)品介紹
  • 產(chǎn)品參數(shù)
NE-PE150L真空等離子清洗機(jī)包括反應(yīng)室、射頻電源及匹配系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、工藝氣路系統(tǒng)、壓力控制系統(tǒng)、電氣控制系統(tǒng)等。等離子清洗工藝是直接把高能等離子體流施加到被清洗表面以達(dá)到等離子體清洗的目的。選擇不同的氣體種類和配比,可以滿足很多等離子體清洗的要求。例如:用氧氣等離子體可以使有機(jī)物沉積被氧化掉;用惰性的氬氣等離子體可以使顆粒污染被機(jī)械地沖洗掉,用氫氣等離子體可以消除金屬表面氧化,等等。應(yīng)用等離子體清洗金屬、陶瓷和塑料表面的有機(jī)物,大大增強(qiáng)了這些材料表面的附著力和鍵合力。
真空等離子清洗機(jī)應(yīng)用


真空等離子清洗機(jī)產(chǎn)品特點(diǎn):


射頻電源功率選擇為0到1000W可調(diào),頻率選擇為13.56MHz,同時(shí)采用電源匹配系統(tǒng)來(lái)調(diào)節(jié)負(fù)載阻抗,以保證最佳的等離子密度和可重復(fù)性。
電極板主體由不銹鋼材料制成,通過(guò)電極接頭可選擇的與電源正極或負(fù)極連通,電極板由兩側(cè)的絕緣塊固定在真空腔體中,整個(gè)電極系統(tǒng)可跟據(jù)不同需求選擇電極板的極性與間距,以獲得最合適的等離子體。
平行平板型的電極結(jié)構(gòu),使得在所有樣品表面都得到了均勻的等離子體,并且也能提供最大的樣品裝載能力,因此滿足均勻性和生產(chǎn)能力的要求。
供氣系統(tǒng)采用高精度流量計(jì)來(lái)精確調(diào)節(jié)工作氣體的流量,同時(shí)采用高穩(wěn)定性的真空泵來(lái)實(shí)現(xiàn)廢氣的均衡排放。
高可靠性和穩(wěn)定性、高效的功率輸出、緊湊的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、占地面積小、重量輕、完善的保護(hù)功能等特點(diǎn)。
前設(shè)開門,后方開排氣孔、電源線孔,側(cè)面開進(jìn)氣孔,以便于形成動(dòng)態(tài)循環(huán)、均勻進(jìn)氣提高清洗的效果。
兩路獨(dú)立的氣路控制便于探索不同氣體配比對(duì)清洗效果的影響。
真空室材料選用材料為316不銹鋼作為放電腔體,耐腐蝕性能好、耐熱性強(qiáng)、低溫情況下的強(qiáng)度好,沖壓彎曲等熱加工性好,無(wú)磁性。
用PLC控制,工藝過(guò)程全自動(dòng)完成,具有良好的互鎖和報(bào)警功能。


真空等離子清洗機(jī)應(yīng)用領(lǐng)域:


在電子領(lǐng)域,可用此技術(shù)做混合電路、PCB板、SMT、BGA、導(dǎo)線框和平板顯示器的清洗和刻蝕;
在醫(yī)療領(lǐng)域也要應(yīng)用此種技術(shù)來(lái)改善各種導(dǎo)管、超細(xì)導(dǎo)管、過(guò)濾器、傳感器等醫(yī)療設(shè)置的光滑度、沾濕性等關(guān)鍵指標(biāo)。
在大規(guī)模集成電路和分立器件行業(yè)中,等離子體清洗一般應(yīng)用于以下幾個(gè)關(guān)鍵步驟中:
1、去膠,用氧的等離子體對(duì)硅片進(jìn)行處理,去除光刻膠;
2、金屬化前器件襯底的等離子體清洗;
3、混合電路粘片前的等離子體清洗;
4、鍵合前的等離子體清洗;
5、金屬化陶瓷管封帽前的等離子體清洗

項(xiàng)目 型號(hào)規(guī)格 參數(shù)
等離子體發(fā)生器 功率 0-1000W可調(diào)
頻率 40KHz/13.56MHz 
抗輻射干擾高頻匹配器 自動(dòng)抗阻匹配,遠(yuǎn)程通信控制
真空反應(yīng)腔室 腔體內(nèi)部尺寸 500*500*675(寬高深)
材質(zhì) 不銹鋼/鋁合金
電極層數(shù) 7層
腔體容積 150L
工作托盤 標(biāo)配一套,材質(zhì)可選(鋁絲,鋼絲網(wǎng))
電極板分布方式 平板電極,可靈活抽取
控制系統(tǒng) 系統(tǒng)控制 PLC
觸摸屏 七寸觸摸屏
氣體系統(tǒng) 氣體通道 標(biāo)配兩路可增加(氧氣、氬氣、氮?dú)獾龋?/span>
氣體流量控制 MFC氣體質(zhì)量流量計(jì)
外觀參數(shù) 外形尺寸 1150*1750*1050(寬*高*深)

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