什么是等離子清洗機？清洗原理是什么？

文章出處：等離子清洗機廠家 | 深圳納恩科技有限公司| 發(fā)表時間：2023-08-12

什么是等離子清洗機？等離子清洗機是一種高效、環(huán)保的清洗設(shè)備。簡單點來說，等離子清洗機，是產(chǎn)生等離子體的發(fā)生裝置，通過等離子清洗機產(chǎn)生的高能等離子體，可以用來對材料表面進行清潔，活化改性，刻蝕等作用，從而實現(xiàn)對材料表面的清洗，或者提高表面的浸潤性能等。

等離子清洗機中的等離子體是如何產(chǎn)生的

等離子清洗機大都通過氣體放電產(chǎn)生等離子體，氣體放電是指施加外電場使電子運動碰撞氣體原子或分子，引起氣體分子、原子電離，產(chǎn)生新的電子和激發(fā)態(tài)活性粒子的現(xiàn)象。

拿常見的真空等離子清洗機舉例：

真空等離子清洗機

真空等離子清洗機，大都采用射頻容性耦合等離子體發(fā)生方式：即為兩極板間充入工作氣體時，外施射頻激勵，放電電路接入特定的匹配網(wǎng)絡(luò)后，對一組電極施加射頻電壓，從而產(chǎn)生交變電場，電極間的氣體受到交變電場的作用，起輝后產(chǎn)生無序的高能量的等離子體。

真空等離子清洗機工作原理圖

等離子清洗機的清洗原理

a) 反應(yīng)性氣體等離子清洗
在真空狀態(tài)下，高頻電源的高壓交變電場將氧氣、氫氣等反應(yīng)性氣體電離成高能量和高反應(yīng)性的等離子氣體。這些高活性基團被吸附在工件表面，與表面污染物發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，生產(chǎn)其他氣體并脫離工件表面，隨排氣系統(tǒng)排出。O2適合對助焊劑等有機類污染物進行處理，H2適合處理金屬氧化物。
O2→2O*+2e
3nO*+{CH2}n→nCO2+nH2O

b) 物理性氣體等離子清洗
在真空狀態(tài)下，高頻電源的高壓交變電場將氬氣等惰性氣體電離成高能量的等離子氣體?；钚粤Ｗ釉谄珘鹤饔孟卤患铀佼a(chǎn)生動能，設(shè)備射頻系統(tǒng)的下電極接地，確保所有的高能電子不能穿越電極接觸到工件表面，避免對敏感器件造成電子損傷。只有中性原子團下電極高速轟擊工件表面，使污染物汽化，與工件剝離，隨排氣系統(tǒng)排出腔體外，產(chǎn)生清洗效果。由于是靠純物理撞擊方式剝離污染物，此方法適合對各類污染物進行去除。

以上就是國產(chǎn)等離子清洗機廠家納恩科技關(guān)于什么是等離子清洗機的簡單介紹，等離子清洗機是使用電能催化氣體進行物理化學(xué)反應(yīng)的設(shè)備，是一種干法清洗設(shè)備，它排除了所有濕法清洗帶來的危險，且無廢液產(chǎn)生。等離子高能離子的方向性不強，可以深入到物體微小孔和不規(guī)則圖形結(jié)構(gòu)內(nèi)部進行清洗，受工件形狀的影響較小。