大氣常壓直接等離子清洗與遠程等離子清洗
文章出處：等離子清洗機廠家 | 深圳納恩科技有限公司| 發(fā)表時間：2022-09-01
常壓大氣直接等離子清洗(direct plasma)與遠程等離子清洗(remote plasma)最大的差別在于前者電極構(gòu)造設(shè)計成電場外漏，等離子體放電時，解離反應(yīng)可以延續(xù)至噴頭外，甚至把試片作為電極的一部分，因此直接型等離子體的等離子效率較高，但由于電場外漏，極容易對導(dǎo)電試片造成電弧擊傷或靜電擊傷問題，因此直接型等離子清洗無法使用在會導(dǎo)電的試片上；另外應(yīng)用在導(dǎo)電的試片處理時也要注意因電場外漏產(chǎn)生的電弧及絲狀放電對等離子處理時的均勻性多少也會造成影響。遠程等離子清洗機則是經(jīng)由適當(dāng)?shù)碾姌O設(shè)計，等離子體產(chǎn)生后再由出口送達試片表面，由于等離子體被隔離，因此沒有靜電擊傷的問題，但等離子體也相對較弱，尤其是remoteDBD在使用空氣作為工作氣體時，效果遠遠不及使用N2remoteDBD等離子體。
遠程等離子體清洗技術(shù)在實際應(yīng)用的過程中，工藝非常簡單，同時操作方便，處理的效率非常高，且無需廢液、廢氣處理，對環(huán)境無污染，可以極大地節(jié)約能源，降低成本。
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