真空等離子清洗系統(tǒng)介紹及其示意圖

文章出處：等離子清洗機(jī)廠家 | 深圳納恩科技有限公司| 發(fā)表時(shí)間：2022-11-02

真空等離子清洗機(jī)也被稱作等離子表面處理儀，其原理是機(jī)器對(duì)氣體（如氮?dú)猓┦┘幼銐虼竽芰渴怪蔀榈入x子狀態(tài)，利用等離子體中活性粒子（電子、離子、活性基團(tuán)等）的活化作用來(lái)起到清除被清洗物質(zhì)外表雜質(zhì)的目的。這種清洗方法能進(jìn)入到物體的細(xì)小孔眼和凹陷的里邊完成清洗工作，可以不用去擔(dān)心被清洗物質(zhì)的外形，而且清洗的效果十分顯著。

真空等離子清洗系統(tǒng)結(jié)構(gòu)：

真空等離子清洗系統(tǒng)包括真空腔體、真空系統(tǒng)、射頻電源及匹配系統(tǒng)、充氣系統(tǒng)、控制系統(tǒng)等。真空等離子清洗系統(tǒng)的設(shè)備總體結(jié)構(gòu)如下所示：

真空等離子清洗系統(tǒng)各部分結(jié)構(gòu)示意圖
1、觸摸屏 2、控制按鈕 3、等離子體發(fā)生器 4、機(jī)柜 5、真空腔體 6、真空計(jì) 7、電極板 8、饋電組件 9、真空電磁閥 10、流量計(jì) 11、電極板架 12、放氣閥 13、真空泵

真空腔體是真空等離子清洗系統(tǒng)關(guān)鍵結(jié)構(gòu)部分,等離子體的產(chǎn)生,材料的清洗處理均在該腔體中完成。低溫等離子體是在一定真空度的狀態(tài)下產(chǎn)生的,這就要求真空腔體具有密封性,同時(shí)考慮到整個(gè)設(shè)備的重量,一般真空腔體采用鋁合金焊接成型，也可以采用不銹鋼焊接成型。

低溫等離子體是在電極板之間放電產(chǎn)生的,因此,在真空腔體中設(shè)計(jì)了極板組件,待處理的材料存放在極板上,如圖所示：

真空等離子清洗系統(tǒng)電極組件

真空系統(tǒng)由真空泵組、真空腔體、真空計(jì)、真空電磁閥及真空管路組成，真空電磁閥控制真空泵組的開(kāi)啟及真空腔體與大氣的聯(lián)通與封閉。真空系統(tǒng)是真空等離子清洗系統(tǒng)的核心部分，試樣在真空腔體中進(jìn)行集中處理，真空泵組負(fù)責(zé)將真空腔體抽到一定真空度;

電源系統(tǒng)由電源、匹配系統(tǒng)，放電極板等組成，利用放電極板進(jìn)行高頻放電，使腔體內(nèi)產(chǎn)生等離子體，自動(dòng)阻抗匹配器，與射頻電源配合使用，自動(dòng)匹配器內(nèi)部安裝可調(diào)電容器，電機(jī)調(diào)整，當(dāng)負(fù)載變化時(shí)，快速自動(dòng)調(diào)整，達(dá)到等效匹配，提高輸出效率。

充氣系統(tǒng)由截止閥和質(zhì)量流量控制器組成,充氣管路可根據(jù)工藝要求設(shè)計(jì),分別接不同的氣體,根據(jù)不同的被清洗材料可以選擇O,H2,Ar2等。清洗過(guò)程中,要保持真空室內(nèi)一-定的真空度,并且要?jiǎng)討B(tài)平衡穩(wěn)定,這樣產(chǎn)生的等離子體才能穩(wěn)定,并且氣體不斷置換,可使反應(yīng)時(shí)產(chǎn)生的廢氣及時(shí)排出,避免污染。

控制系統(tǒng)采用可編程邏輯控制器(Programma-bleLogicControl，PLC)和人機(jī)系列觸摸屏進(jìn)行聯(lián)合控制，可通過(guò)對(duì)觸摸屏的點(diǎn)擊操作控制真空等離子清洗系統(tǒng)的運(yùn)作。控制系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)全工藝過(guò)程的自動(dòng)控制,實(shí)現(xiàn)自動(dòng)預(yù)抽、自動(dòng)充氣、自動(dòng)平衡、產(chǎn)生等離子體、清洗等步驟。

上述真空等離子清洗系統(tǒng)使用傳統(tǒng)的電容耦合式等離子清洗機(jī)結(jié)構(gòu)，即內(nèi)平行極板。系統(tǒng)主要由三大部分組成包括真空系統(tǒng)、放電系統(tǒng)和控制系統(tǒng)，主要用于材料的表面清洗活化改性等場(chǎng)合。