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等離子工藝及應(yīng)用

等離子體是由帶電粒子(正離子、負(fù)離子、電子)、光子、中性粒子(原子、分子、自由基和活性基團(tuán))組成的宏觀呈電中性的電離態(tài)氣體。與物質(zhì)通常的3種狀態(tài)(固、液、氣)相比，等離子體無(wú)論在組成還是在性質(zhì)上，均有本質(zhì)的差別。因此，等離子體也被稱為物質(zhì)的第四態(tài)。等離子體包含大量活性粒子，如高能電子、離子、自由基、激發(fā)態(tài)的氣體原子和分子以及光子等，其能量可通過(guò)輻射、中性粒子流和離子流的碰撞等作用于材料表面，這些粒子與材料表面發(fā)生諸如刻蝕和清潔、氧化、接枝、活化、聚合等相互作用，以此改善材料的表面特性，如表面粗糙化、表面清潔、表面化學(xué)基團(tuán)引入和表面親水性調(diào)變等。

另外，等離子體還可作用于材料內(nèi)部，等離子體處理可以有效地控制催化材料的尺寸和結(jié)構(gòu)，因此，等離子體作為一種催化劑制備工藝，自20世紀(jì)90年代起受到越來(lái)越多研究人員的關(guān)注，目前已經(jīng)被成功用于催化劑的還原、氧化、摻雜、刻蝕、合成、表面處理和凈化等方面。

等離子體對(duì)材料的改性僅限于表面，對(duì)材料基質(zhì)不會(huì)產(chǎn)生破壞作用，因此在塑料、薄膜、纖維、金屬等材料的表面改性中具有重要的應(yīng)用價(jià)值。

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等離子體工藝應(yīng)用

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