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什么是等離子體

等離子體被稱為“物質的第四態(tài)”。我們通常認知和接觸的物質狀態(tài)有三種：氣態(tài)、液態(tài)和固態(tài)，同一種物質所含能量不同時，會在三種狀態(tài)之間相互轉換，最低能量狀態(tài)是固態(tài)，固態(tài)吸收能量轉化成液態(tài)，液態(tài)吸收能量轉化成氣態(tài)，氣態(tài)是三個狀態(tài)中能量最高的。氣態(tài)物質吸收更多的能量，就會產生物質的第四態(tài)，也就是等離子體。等離子體呈電中性，由電子、離子、光子和中性粒子組成，其中電子和正離子的數(shù)量基本相等，但等離子體并是穩(wěn)定的物質狀態(tài)，當使其電離的能量消失，各種粒子會重新結合，形成原來的氣態(tài)分子。

等離子體具有很多獨特的物理、化學性質。第一，由于內部集聚了大量的帶電粒子，具有類似金屬的導電功能；第二，溫度高，粒子動能大；第三，由于其內部發(fā)生復雜的激發(fā)、退激發(fā)過程，具有獨特的發(fā)光特性；第四，內部富含大量的活性物種，容易發(fā)生化學反應。
 
等離子體分為高溫等離子體和低溫等離子體，其中低溫等離子體在工業(yè)中應用廣泛。低溫等離子體中存在著大量種類繁多的活性粒子，它們比通常的化學反應所產生的活性粒子活性更強、種類更多，這些活性粒子很容易和材料表面發(fā)生反應，因此常被用來對材料表面進行清洗或改性。等離子清洗是低溫等離子體的主要應用之一，屬于干法清洗范疇。等離子體有很多種產生方式，例如氣體放電、光電離、激光等，不同的產生方式，等離子體的能量、密度等性質也不同，根據(jù)其不同性質在工業(yè)中應用于清洗、刻蝕、材料表面改性等。就等離子清洗應用而言，氣體放電是最常用的方式。